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超凈間(Clean Room)，也稱為無塵室或清凈室?！赋瑑糸g」是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計(jì)的房間。不論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能維持原先所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。 超凈間主要作用是控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使用戶能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造產(chǎn)品，此空間我們稱之為「超凈間」。